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碳化硅陶瓷晶舟


西安中威(ZHWE)®系列碳化硅陶瓷晶舟,SIC晶舟,陶瓷晶舟純度>99.675%使用壽命長>5年,主要應用于太陽能、半導體擴散制程。具有耐磨損、耐腐蝕、耐高溫沖擊,耐電漿轟擊、高溫承載力大、高導熱、高散熱、長期使用不易彎曲變形,特點。


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